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第146章 秦光一号(2 / 3)

宽,甚至一度出现了画面卡顿。

在现场观众席第二排的半导体大佬们,此刻的情绪也都差点没崩住。

其实康驰邀请他们过来的时候,为了给他们一个小小的‘惊喜’,也没有提前和他们透露情报。

除了董建元和陈云明隐约猜到,其他人都是纯粹是看在大汉硅业和康驰的面子上,才赏脸过来的。

而董建元和陈云明之所以能猜到,主要也是因为康驰找他们造了一套cmos的掩膜板,同时还借了一套超高精度的CUP掩膜板,用来测试光刻机的最小制程。

但在真相没有揭晓的那刻,他们也只是猜测而已。

他们的目光都紧紧地看着康驰,等待着他的进一步解释。

康驰等现场稍微安静了点之后,才拿起一块cmos感光芯片,继续向介绍道:

“我手中的这块芯片,就是武安相机上的cmos感光元件,制造它的硅片来自大汉硅业,蚀刻机来自中微,而光刻机……用的则是我身后的这台秦光一号EUV光刻机!”

“秦光一号是由大秦光学完成设计和组装的,国内首台EUV光刻机,它的EUV光源系统来自常春光所,可实现500W-EUV光源的稳定输出,而光学系统,则是由大秦光学负责制造,大家请看大屏幕。”

随着康驰的话音刚落,在内舞台的背景屏幕上,便放出了几名大秦光学的工程师,在无尘车间里一起举着光刻机镜片的照片。

“这就是光刻机的镜片,它的直径高达125mm,镜面粗糙度25pm,面精度仅为1.3nm!”

“最后是光刻机的双件工作台,它是由大唐重工负责研发制造,位移误差是200pm,理论上可以满足2nm芯片制造的要求。”

“同时得益于500W功率的EUV光源,这台光刻机的工作效率,达到了每小时180片晶圆的制造速度!”

“经过初期测试,我们目前能做到的最小制程是7nm,不过光刻机其实只是个生产工具,后续随着堆叠工艺的提升,进一步缩小制程也是完全没有问题的。”

听到这里,无论是申城硅产业,还是中芯、立昂微的高层,都忍不住激动地互相对视了一眼,然后各怀心事地继续看着康驰。

康驰刚刚的那番参数介绍,其实就是对他们说的,普通观众估计也听不懂。

到了光刻机的环节,普通观众其实都只是看热闹的了,

不过在看热闹的同时,也能增强一下大家的民族自信心,顺便还能给大秦光学的相机和镜头,打一波价值连城的广告。

至于光刻机真正的目标用户,其实就是坐在第二排的半导体大佬们。

他们才是会为光刻机真正掏钱的人。

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