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第一百零三章 二氧化铈(2 / 3)

程中切削深度的增加,但也不至于,精度会比预计的数值增加十倍。

机器的工作过程,顾律全程看下来了,也并没有发现什么异常。

按理说,十倍的精度差,不可能出现才对。

难道今天要翻车了?

在抛光时间快要结束的时候,顾律目光瞥了一眼黄师傅背后,接着视线紧紧锁住那个蓝色的塑料液体瓶。

对了,抛光液!

顾律脑中灵光一闪,瞬间明白问题的关键所在。

在抛光过程中,除了抛光机以及被抛光的物件,用来进行辅助抛光作用的抛光液,也能极大的影响被抛光物件的精度。

往往,不同型号的抛光机,不同被抛光的物件,最适宜使用的抛光液是不同的。

“你们用的是哪种抛光液?”顾律沉声问道。

“呃……”黄师傅愣了一下,随口回答,“我们现在使用的纳米三氧化二铝粉末抛光液。”

林经理一脸紧张的看向顾律,“顾先生,有什么问题吗?”

有问题,问题大了!

纳米三氧化二铝粉末当做磨料,加入BuehlerPhoenixBets型抛光机,进行单硅晶片的精密抛光,本身就是极为不智的一种举动。

因为三氧化二铝这个东西,实在是太硬了啊!

即便是纳米级别的三氧化二铝粉末,硬度也不会减少。在抛光过程中,肯定会对硅晶片造成损伤。

另一方面,根据Preston公式,MRR=ρwNV。

抛光磨料硬度越高,对应的切削深度越大,塑性磨削作用越弱。

他想,他已经知道,为什么使用新设备抛光后的硅晶片,在精度方面一直达不到要求了。

“抛光液用错了。”顾律眼神的平淡的看了张经理一眼,开口说道。

“难道不是用三氧化二铝粉末抛光液吗,我之前在国营大厂里,一直都是用的这个。”说话的是黄师傅。

顾律笑着开口解释,“对于那些精度不高的硅晶片,使用纳米三氧化二铝粉末当然没问题,因为制备简单,成本还低,但对于高精度抛光机,这种高硬度的抛光磨料,就明显不适用了。”

“那顾先生,我们应该用哪种,当做纳米磨料?”张经理问。

“二氧化铈。”顾律请吐出四个字。

“二氧化铈?”张经理眉头皱起。

“你们这没有这种抛光液?”顾律问。

“呃……没有。”林经理老老实实的回答。

老实说,这种抛光液,在国内都不常见。

“那你们这瓶三氧化二铝抛光液,是从外面买过来的,还是自己制备的?”顾律接着问。

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